| | 8 8 | | | | | | | | | | | | | | | 15 | 380 36 | | | | | | | | | | | | | | MEMS | 50 | | | | | | | | | | | | | 70 100 | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | |